На главную

Разработка и исследование метода синтеза трихлорсилана по реакции гидрирования тетрахлорида кремния в водородной плазме : автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. хим. наук : специальность 02.00.01 <Неорган. химия>

Разработка и исследование метода синтеза трихлорсилана по реакции гидрирования тетрахлорида кремния в водородной плазме : автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. хим. наук : специальность 02.00.01 <Неорган. химия>

22 с.

Российская Национальная Библиотека

Полное библиографическое описание

  • 100% от первой страницы документа

  • Произвольный отрывок, составляющий 25% документа

Обложка
Открыть в мобильном приложении