Моделирование и алгоритмизация управления роботизированными модульно-кластерными комплексами в технологических процессах фотолитографии : автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук : специальность 05.13.06 <Автоматизация и упр. технол. процессами и пр-вами>
Моделирование и алгоритмизация управления роботизированными модульно-кластерными комплексами в технологических процессах фотолитографии : автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук : специальность 05.13.06 <Автоматизация и упр. технол. процессами и пр-вами>