Электронно-спектроскопические исследования физических свойств эпитаксиальных комбинаций и ионно-имплантированных слоев в кремнии : Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д.ф.-м.н. : Спец. 01.04.04
Электронно-спектроскопические исследования физических свойств эпитаксиальных комбинаций и ионно-имплантированных слоев в кремнии : Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д.ф.-м.н. : Спец. 01.04.04