Процессы обработки затравок для выращивания совершенных объемных монокристаллов полупроводникового карбида кремния методом ЛЭТИ : Автореф. дис. на соиск. учен. степ. к.т.н. : Спец. 05.27.06
Процессы обработки затравок для выращивания совершенных объемных монокристаллов полупроводникового карбида кремния методом ЛЭТИ : Автореф. дис. на соиск. учен. степ. к.т.н. : Спец. 05.27.06