Обоснование и разработка прецизионного способа двухстороннего шлифования свободным абразивом пластин кремния большого диаметра : Автореф. дис. на соиск. учен. степ. к.т.н. : Спец. 05.27.06

Заглавие:Обоснование и разработка прецизионного способа двухстороннего шлифования свободным абразивом пластин кремния большого диаметра : Автореф. дис. на соиск. учен. степ. к.т.н. : Спец. 05.27.06

Физическое описание:20 с.

Библиотечный фонд:Российская Национальная Библиотека

Полное библиографическое описание

Доступные права:

Просмотр:

• 100% от первой страницы документа

Печать:

• Произвольный отрывок, составляющий 25% документа