Исследование и разработка процессов подготовки поверхности кремниевых пластин при изготовлении структур кремний на изоляторе : Автореф. дис. на соиск. учен. степ. к.т.н. : Спец. 05.27.06
Исследование и разработка процессов подготовки поверхности кремниевых пластин при изготовлении структур кремний на изоляторе : Автореф. дис. на соиск. учен. степ. к.т.н. : Спец. 05.27.06