Электронно-спектроскопические исследования состояния поверхности гетероструктурных пленок, созданных имплантацией ионов Ва+, Na+, В+ и Р+ в кремний : Автореф. дис. на соиск. учен. степ. к.ф.-м.н. : Спец. 01.04.04
Электронно-спектроскопические исследования состояния поверхности гетероструктурных пленок, созданных имплантацией ионов Ва+, Na+, В+ и Р+ в кремний : Автореф. дис. на соиск. учен. степ. к.ф.-м.н. : Спец. 01.04.04