Радиацинные дефекты междоузельного типа и их влияние на электрическую активацию и диффузию имплантированных примесей в кремнии : Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д.ф.-м.н. : Спец. 01.04.10
Радиацинные дефекты междоузельного типа и их влияние на электрическую активацию и диффузию имплантированных примесей в кремнии : Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д.ф.-м.н. : Спец. 01.04.10