Интегрированные ионно-плазменные процессы формирования тонкопленочных структур на рельефных поверхностях : Автореф. дис. на соиск. учен. степ. к.т.н. : Спец. 05.27.06
Интегрированные ионно-плазменные процессы формирования тонкопленочных структур на рельефных поверхностях : Автореф. дис. на соиск. учен. степ. к.т.н. : Спец. 05.27.06