Методы автоматического контроля топологии планарных структур и их реализация в электронном машиностроении : Автореф. дис. на соиск. учен. степ. к.т.н. : Спец. 05.27.06
Методы автоматического контроля топологии планарных структур и их реализация в электронном машиностроении : Автореф. дис. на соиск. учен. степ. к.т.н. : Спец. 05.27.06