Разработка методов получения, контроля и применения плазмы с заданными характеристиками в больших вакуумных объектах : Автореф. дис. на соиск. учен. степ. к.т.н. : Спец. 05.11.13
Разработка методов получения, контроля и применения плазмы с заданными характеристиками в больших вакуумных объектах : Автореф. дис. на соиск. учен. степ. к.т.н. : Спец. 05.11.13