Исследование и разработка процессов плазменного травления функциональных слоев СБИС с использованием источников высокоплотной плазмы : Автореф. дис. на соиск. учен. степ. к.т.н. : Спец. 05.27.01
Исследование и разработка процессов плазменного травления функциональных слоев СБИС с использованием источников высокоплотной плазмы : Автореф. дис. на соиск. учен. степ. к.т.н. : Спец. 05.27.01