Моделирование процессов образования пористого кремния и гомоэпитаксии на его поверхности : Автореф. дис. на соиск. учен. степ. к.ф.-м.н. : Спец. 01.04.10
Моделирование процессов образования пористого кремния и гомоэпитаксии на его поверхности : Автореф. дис. на соиск. учен. степ. к.ф.-м.н. : Спец. 01.04.10