Основы технологии получения кремниевых структур с объемными элементами методом жидкофазной эпитаксии в поле температурного градиента : Автореф. дис. на соиск. учен. степ. к.т.н. : Спец. 05.27.06
Основы технологии получения кремниевых структур с объемными элементами методом жидкофазной эпитаксии в поле температурного градиента : Автореф. дис. на соиск. учен. степ. к.т.н. : Спец. 05.27.06