Разработка методов и средств контроля параметров технологии водоподготовки в производстве изделий микроэлектроники : Автореф. дис. на соиск. учен. степ. к.т.н. : Спец. 05.11.13
Разработка методов и средств контроля параметров технологии водоподготовки в производстве изделий микроэлектроники : Автореф. дис. на соиск. учен. степ. к.т.н. : Спец. 05.11.13