Разработка низкоэнергитического СВЧ вакуумно-плазменного травления структур микроэлектроники : Автореф. дис. на соиск. учен. степ. к.т.н. : Спец. 05.09.10 : Спец. 05.27.01

Заглавие:Разработка низкоэнергитического СВЧ вакуумно-плазменного травления структур микроэлектроники : Автореф. дис. на соиск. учен. степ. к.т.н. : Спец. 05.09.10 : Спец. 05.27.01

Физическое описание:16 с.

Библиотечный фонд:Российская Национальная Библиотека

Полное библиографическое описание

Доступные права:

Просмотр:

• 100% от первой страницы документа

Печать:

• Произвольный отрывок, составляющий 25% документа