Фазовый состав, ориентация и субструктура силицидов, образующихся при конденсации и фотонной обработке пленок Ti и Mo на кремнии : автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук : спец. (01.04.07)

Заглавие:Фазовый состав, ориентация и субструктура силицидов, образующихся при конденсации и фотонной обработке пленок Ti и Mo на кремнии : автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук : спец. (01.04.07)

Физическое описание:17 с.

Библиотечный фонд:Российская Национальная Библиотека

Полное библиографическое описание

Доступные права:

Просмотр:

• 100% от первой страницы документа

Печать:

• Произвольный отрывок, составляющий 25% документа