Формування структури i фiзичних властивостей нiтридних плiвок, отриманих методами реактивного розпилювання на пiдкладках Si, Ni, Ti, Ta, Mo i W : Автореф. дис. на соиск. учен. степ. к.ф.-м.н. : Спец. 01.04.07
Формування структури i фiзичних властивостей нiтридних плiвок, отриманих методами реактивного розпилювання на пiдкладках Si, Ni, Ti, Ta, Mo i W : Автореф. дис. на соиск. учен. степ. к.ф.-м.н. : Спец. 01.04.07