Полупроводниковые чувствительные элементы датчиков давлений на основе структуры "кремний-на-диэлектрике" : автореф. дис. на соиск. учен. степ. к.т.н. : спец. 05.11.14 <Технология приборостроения>

Заглавие:Полупроводниковые чувствительные элементы датчиков давлений на основе структуры "кремний-на-диэлектрике" : автореф. дис. на соиск. учен. степ. к.т.н. : спец. 05.11.14 <Технология приборостроения>

Физическое описание:22 с.

Библиотечный фонд:Российская Национальная Библиотека

Полное библиографическое описание

Доступные права:

Просмотр:

• 100% от первой страницы документа

Печать:

• Произвольный отрывок, составляющий 25% документа