Автоматизация радиационно-лазерных процессов изготовления симметричных канальных элементов интегральной оптики : Автореф. дис. на соиск. учен. степ. к.т.н. : Спец. 05.13.07
Автоматизация радиационно-лазерных процессов изготовления симметричных канальных элементов интегральной оптики : Автореф. дис. на соиск. учен. степ. к.т.н. : Спец. 05.13.07