На главную

Методика разработки специального математического и программного обеспечения лабораторных литографических установок для комплексной автоматизации научных исследований микроструктур : Дис. на соиск. учен. степ. к.т.н. в форме науч. докл. : Спец. 05.13.18

Методика разработки специального математического и программного обеспечения лабораторных литографических установок для комплексной автоматизации научных исследований микроструктур : Дис. на соиск. учен. степ. к.т.н. в форме науч. докл. : Спец. 05.13.18

33 с.

Российская Национальная Библиотека

Полное библиографическое описание

  • 100% от первой страницы документа

  • Произвольный отрывок, составляющий 25% документа

  • Произвольный отрывок, составляющий 25% документа

Обложка
Открыть в мобильном приложении