Методика разработки специального математического и программного обеспечения лабораторных литографических установок для комплексной автоматизации научных исследований микроструктур : Дис. на соиск. учен. степ. к.т.н. в форме науч. докл. : Спец. 05.13.18

Заглавие:Методика разработки специального математического и программного обеспечения лабораторных литографических установок для комплексной автоматизации научных исследований микроструктур : Дис. на соиск. учен. степ. к.т.н. в форме науч. докл. : Спец. 05.13.18

Физическое описание:33 с.

Библиотечный фонд:Российская Национальная Библиотека

Полное библиографическое описание

Доступные права:

Просмотр:

• 100% от первой страницы документа

Печать:

• Произвольный отрывок, составляющий 25% документа