Математическое моделирование процесса осаждения нитрида кремния из дихлоросилана и аммиака : Автореф. дис. на соиск. учен. степ. к.ф.-м.н. : Спец. 05.27.01

Заглавие:Математическое моделирование процесса осаждения нитрида кремния из дихлоросилана и аммиака : Автореф. дис. на соиск. учен. степ. к.ф.-м.н. : Спец. 05.27.01

Физическое описание:14 с.

Библиотечный фонд:Российская Национальная Библиотека

Полное библиографическое описание

Доступные права:

Просмотр:

• 100% от первой страницы документа

Печать:

• Произвольный отрывок, составляющий 25% документа