На главную

Математическое моделирование процесса осаждения нитрида кремния из дихлоросилана и аммиака : Автореф. дис. на соиск. учен. степ. к.ф.-м.н. : Спец. 05.27.01

Математическое моделирование процесса осаждения нитрида кремния из дихлоросилана и аммиака : Автореф. дис. на соиск. учен. степ. к.ф.-м.н. : Спец. 05.27.01

14 с.

Российская Национальная Библиотека

Полное библиографическое описание

  • 100% от первой страницы документа

  • Произвольный отрывок, составляющий 25% документа

  • Произвольный отрывок, составляющий 25% документа

Обложка
Открыть в мобильном приложении