Разработка и исследование методов и средств повышения технического уровня элементной базы вакуумных систем и эксплуатационных характеристик промышленного оборудования тонкопленочных технологий : Автореф. дис. на соиск. учен. степ. к.т.н. : Спец. (05.27.06)
Разработка и исследование методов и средств повышения технического уровня элементной базы вакуумных систем и эксплуатационных характеристик промышленного оборудования тонкопленочных технологий : Автореф. дис. на соиск. учен. степ. к.т.н. : Спец. (05.27.06)