Физико-химические закономерности трансформации микродефектов в кремнии при ионном облучении, воздействии ультразвуком и термообработках : Автореф. дис. на соиск. учен. степ. к.т.н. : Спец. 02.00.04

Заглавие:Физико-химические закономерности трансформации микродефектов в кремнии при ионном облучении, воздействии ультразвуком и термообработках : Автореф. дис. на соиск. учен. степ. к.т.н. : Спец. 02.00.04

Физическое описание:24 с.

Библиотечный фонд:Российская Национальная Библиотека

Полное библиографическое описание

Доступные права:

Просмотр:

• 100% от первой страницы документа

Печать:

• Произвольный отрывок, составляющий 25% документа