Создание научных основ разработки электротехнологического высокочастотного плазменного оборудования для обработки изделий электронного приборостроения : Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д.т.н. : Спец. 05.09.10

Заглавие:Создание научных основ разработки электротехнологического высокочастотного плазменного оборудования для обработки изделий электронного приборостроения : Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д.т.н. : Спец. 05.09.10

Физическое описание:32 с.

Библиотечный фонд:Российская Национальная Библиотека

Полное библиографическое описание

Доступные права:

Просмотр:

• 100% от первой страницы документа

Печать:

• Произвольный отрывок, составляющий 25% документа