Получение и свойства ультратонких пленок аморфного кремния и многослойных периодических наноструктур на их основе : Автореф. дис. на соиск. учен. степ. к.ф.-м.н. : Спец. 01.04.10
Получение и свойства ультратонких пленок аморфного кремния и многослойных периодических наноструктур на их основе : Автореф. дис. на соиск. учен. степ. к.ф.-м.н. : Спец. 01.04.10