Осаждение пленок GaAs из абляционной плазмы, формируемой импульсным мощным ионным пучком : автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук : спец. 05.09.02 : спец. 01.04.04

Заглавие:Осаждение пленок GaAs из абляционной плазмы, формируемой импульсным мощным ионным пучком : автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук : спец. 05.09.02 : спец. 01.04.04

Библиотечный фонд:Российская Национальная Библиотека

Полное библиографическое описание

Доступные права:

Просмотр:

• 100% от первой страницы документа

Печать:

• Произвольный отрывок, составляющий 25% документа