Разработка и анализ зондовых микромеханических устройств : автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра техн. наук : спец. (05.27.01)

Заглавие:Разработка и анализ зондовых микромеханических устройств : автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра техн. наук : спец. (05.27.01)

Физическое описание:32 c.

Библиотечный фонд:Российская Национальная Библиотека

Полное библиографическое описание

Доступные права:

Просмотр:

• 100% от первой страницы документа

Печать:

• Произвольный отрывок, составляющий 25% документа