На главную

Создание экологичных и виброустойчивых механических модулей высокопроизводительного оборудования для выращивания монокристаллического кремния : автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук : специальность 05.02.13 <Машины, агрегаты и процессы> : специальность 05.02.02 <Машиноведение, системы приводов и детали машин>

Создание экологичных и виброустойчивых механических модулей высокопроизводительного оборудования для выращивания монокристаллического кремния : автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук : специальность 05.02.13 <Машины, агрегаты и процессы> : специальность 05.02.02 <Машиноведение, системы приводов и детали машин>

23 с.

Российская Национальная Библиотека

Полное библиографическое описание

  • 100% от первой страницы документа

  • Произвольный отрывок, составляющий 25% документа

  • Произвольный отрывок, составляющий 25% документа

Обложка
Открыть в мобильном приложении