Создание экологичных и виброустойчивых механических модулей высокопроизводительного оборудования для выращивания монокристаллического кремния : автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук : специальность 05.02.13 <Машины, агрегаты и процессы> : специальность 05.02.02 <Машиноведение, системы приводов и детали машин>

Заглавие:Создание экологичных и виброустойчивых механических модулей высокопроизводительного оборудования для выращивания монокристаллического кремния : автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук : специальность 05.02.13 <Машины, агрегаты и процессы> : специальность 05.02.02 <Машиноведение, системы приводов и детали машин>

Физическое описание:23 с.

Библиотечный фонд:Российская Национальная Библиотека

Полное библиографическое описание

Доступные права:

Просмотр:

• 100% от первой страницы документа

Печать:

• Произвольный отрывок, составляющий 25% документа