На главную

Конструктивно-технологический базис кремниевых микрофлюидных электромеханических систем : автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук : спец. 05.27.01 (Твердотел. электроника, радиоэлектрон. компоненты, микро- и наноэлектроника на квантовых эффектах)

Конструктивно-технологический базис кремниевых микрофлюидных электромеханических систем : автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук : спец. 05.27.01 (Твердотел. электроника, радиоэлектрон. компоненты, микро- и наноэлектроника на квантовых эффектах)

32 с.

Российская Национальная Библиотека

Полное библиографическое описание

  • 100% от первой страницы документа

  • Произвольный отрывок, составляющий 25% документа

  • Произвольный отрывок, составляющий 25% документа

Обложка
Открыть в мобильном приложении