Конструктивно-технологический базис кремниевых микрофлюидных электромеханических систем : автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук : спец. 05.27.01 (Твердотел. электроника, радиоэлектрон. компоненты, микро- и наноэлектроника на квантовых эффектах)

Заглавие:Конструктивно-технологический базис кремниевых микрофлюидных электромеханических систем : автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук : спец. 05.27.01 (Твердотел. электроника, радиоэлектрон. компоненты, микро- и наноэлектроника на квантовых эффектах)

Физическое описание:32 с.

Библиотечный фонд:Российская Национальная Библиотека

Полное библиографическое описание

Доступные права:

Просмотр:

• 100% от первой страницы документа

Печать:

• Произвольный отрывок, составляющий 25% документа