Исследование эксплуатационных характеристик теплообменных систем оборудования полупроводникового производства : автореф. дис. на соиск. учен. степ. к.т.н. : спец. 05.27.06
Исследование эксплуатационных характеристик теплообменных систем оборудования полупроводникового производства : автореф. дис. на соиск. учен. степ. к.т.н. : спец. 05.27.06