Разработка технологии пластин полупроводниковых соединений AIIIBV современной точности обработки : Автореф. дис. на соиск. учен. степ. к.т.н. : Спец. 05.27.06
Разработка технологии пластин полупроводниковых соединений AIIIBV современной точности обработки : Автореф. дис. на соиск. учен. степ. к.т.н. : Спец. 05.27.06