Исследование физических процессов, определяющих возможность масштабирования реакторов газофазного осаждения с активацией плазмы СВЧ разрядом при средних давлениях : Автореф. дис. на соиск. учен. степ. к.ф.-м.н. : Спец. 01.04.08

Заглавие:Исследование физических процессов, определяющих возможность масштабирования реакторов газофазного осаждения с активацией плазмы СВЧ разрядом при средних давлениях : Автореф. дис. на соиск. учен. степ. к.ф.-м.н. : Спец. 01.04.08

Физическое описание:23 с.

Библиотечный фонд:Российская Национальная Библиотека

Полное библиографическое описание

Доступные права:

Просмотр:

• 100% от первой страницы документа

Печать:

• Произвольный отрывок, составляющий 25% документа