Математическое моделирование высокочастотной плазменной обработки твердых тел при пониженном давлении : Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д.ф.-м.н. : Спец. 05.13.18

Заглавие:Математическое моделирование высокочастотной плазменной обработки твердых тел при пониженном давлении : Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д.ф.-м.н. : Спец. 05.13.18

Физическое описание:31 c.

Библиотечный фонд:Российская Национальная Библиотека

Полное библиографическое описание

Доступные права:

Просмотр:

• 100% от первой страницы документа

Печать:

• Произвольный отрывок, составляющий 25% документа